| 摘要 |
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrosiebs angegeben, wobei das Mikrosieb im Wesentlichen aus einem Fotolackmaterial besteht, mit folgenden Schritten: – Aufbringen einer Fotolackschicht auf einen Träger, – teilweise Abdeckung der Fotolackschicht mit einer Maske, die die Struktur des Mikrosiebs festlegt, – Belichtung des Fotolacks mittels Einwirkung von Strahlung, – Entwicklung des Fotolacks, – Ablösung des Fotolacks vom Träger, dadurch gekennzeichnet, dass beim Aufbringen der Fotolackschicht ein flüssiger Fotolack verwendet wird. |
