旋转冲洗设备专用多工位转架

摘要

一种旋转冲洗设备专用多工位转架，包括前、后盘，前、后盘之间通过三组内、外侧左支杆和内、外侧右支杆以及压杆焊接构成三个放置晶片盒的工位结构。压杆外部套接有减震套管用于限制晶片在离心力作用下的移动。后盘内侧在减震套管下面焊接有小垫块用于限动晶片盒的位置。后盘外侧在中心孔处焊接空心从动轴和传动键用于与电机输出轴连接。工位结构绕转架中心呈圆周均布排列，解决了动平衡值高出现微颗粒影响晶片清洗效果的问题，使晶片的清洗质量得到显著提高。本发明通过电机带动可同时带载三个晶片盒内的晶片进行旋转清洗，晶片远离旋转冲洗设备专用多工位转架的旋转中心，很容易在一道工序内被甩干，极大地提高了生产效率，降低了生产成本。

主权项

一种旋转冲洗设备专用多工位转架，其特征在于：所述旋转冲洗设备专用多工位转架包括一个前盘（1）和一个后盘（8），所述前盘（1）和后盘（8）之间设有三个放置晶片盒（12）的工位，所述前盘（1）的外表面上设有三个晶片盒进出口，所述一个晶片盒进出口与一个工位形成一组工位结构，所述三组工位结构的轴心线均与旋转冲洗设备专用多工位转架的旋转轴心线平行且距离相等，所述三组工位结构在旋转冲洗设备专用多工位转架中相间120°均布。