一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔，该还原尾气冷凝分离塔包括：还原尾气集液器、循环水换热器、气气换热器、氟利昂换热器、冷凝分离塔顶封头，还原尾气集液器、循环水换热器、气气换热器、氟利昂换热器、冷凝分离塔顶封头从下往上依次连接成塔状。相对于现有技术中的通过管道串联起来的多晶硅生产中回收冷凝的装置来说，本实用新型能节约基础建造成本15％，并能够达到更好的冷凝分离效果，从而将氯硅烷与不可被冷凝的氢气与大部分氯硅烷分离开来。本实用新型中的还原尾气冷凝分离塔利用重力原理及冷凝过程中的冷量及热量进行相互换热，充分利用冷量，从而达到很好的冷凝分离效果及降低生产能耗以及减少建设用地的目的。

主权项

一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔，其特征在于，包括：还原尾气集液器、循环水换热器、气气换热器、氟利昂换热器、冷凝分离塔顶封头，所述还原尾气集液器、所述循环水换热器、所述气气换热器、所述氟利昂换热器、所述冷凝分离塔顶封头从下往上依次连接成塔状，其中，所述还原尾气集液器用于收集冷凝下来的液体，所述冷凝分离塔顶封头上设置有还原尾气出口，该还原尾气出口用于排出未被冷凝的还原尾气。