一种显微镜物镜精密调焦装置

摘要

本发明公开了一种显微镜物镜精密调焦装置，包含显微镜物镜、外壳、上板、法兰、压电振子、导轨、支撑板、钢球和四片压电陶瓷片，压电振子头部呈水平设置的工字型、尾部呈竖直设置的楔形，显微镜物镜通过支撑板固定在外壳里，法兰通过上板固定在外壳上、且轴线与显微镜物镜的轴线重合，压电振子尾部的下端面能够在导轨上水平滑动、上端面通过钢球与支撑板相抵，通过驱动设置在压电振子上的压电陶瓷片，使得压电振子在导轨上滑动，进而带动支撑板移动，最后带动显微镜物镜上下微移。本发明可以将惯性冲击式压电驱动器输出的位移转换为显微镜物镜的位移，实现显微镜物镜微纳米级别的焦距微调。

主权项

一种显微镜物镜精密调焦装置，其特征在于，包含显微镜物镜（6）、外壳（7）、上板（8）、法兰（9）、压电振子（2）、导轨（3）、支撑板（5）、钢球（4）和四片压电陶瓷片（1）；所述外壳（7）包括第一侧板、第二侧板、四条连接杆和八个柔性铰链，所述第一侧板中间设有用于穿过压电振子（2）的圆孔，所述四条连接杆分别与第一侧板的四个90角、第二侧板的四个角通过八个柔性铰链链接，所述上板（8）固定在第一侧板的上端、其上表面与外壳的上端面平行，所述上板（8）上设有用于安置法兰（9）的通孔；所述导轨（3）设置在所述第一侧板面向第二侧板的圆孔下；所述压电振子（2）头部呈水平设置的工字型、尾部呈竖直设置的楔形，且尾部的下端面为水平平面、上端面为斜面，所述压电振子（2）头部工字型的两端设有质量相同的质量块，所述压电振子（2）尾部的下端面能够在导轨（3）上水平滑动；所述支撑板（5）一端固定在所述第二侧板上，另一端的底面上设有与所述钢球（4）相匹配的内凹球面，且通过钢球（4）与所述压电振子（2）尾部的上端面相抵，所述支撑板（5）接近第二侧板的平面上设有用于旋入显微镜物镜（6）的螺纹孔；所述显微镜物镜（6）外壁上设有与所述螺纹孔的内螺纹相匹配的外螺纹；所述法兰（9）设置在上板（8）的通孔上，其顶端与外部显微镜转换器螺纹连接，且轴线与所述显微镜物镜（6）的轴线重合；所述四片压电陶瓷片（1）分别设置在所述压电振子（2）头部，通过导线与外部控制电路相连。