具有电绝缘结构的微机电系统装置及其制造方法

摘要

本发明涉及一种具有电绝缘结构的微机电系统(MEMS)装置，所述微机电系统装置包括至少一个移动件、至少一个支撑座、至少一个弹簧以及绝缘层。所述弹簧连接至所述支撑座和所述移动件。所述绝缘层设置在所述移动件和所述支撑座中。所述移动件和所述支撑座的每一个被所述绝缘层分为两个导电部分。由此，不同移动件的电信号通过未互相电连接的绝缘的电通路被传送。

主权项

一种微机电系统装置，包括：至少一个移动件；至少一个支撑座；至少一个弹簧,连接至所述至少一个支撑座和所述至少一个移动件；以及绝缘层，设置在所述至少一个移动件和所述至少一个支撑座中，其中所述至少一个移动件的每一个被所述绝缘层分为第一导电部分和第二导电部分，并且所述至少一个支撑座被所述绝缘层分为第一导电部分和第二导电部分；其中所述至少一个支撑座包括隔绝部分和至少一个导电通柱，所述隔绝部分设置在所述至少一个支撑座的第一导电部分中或设置在所述至少一个支撑座的第二导电部分中，这样所述至少一个支撑座的第一导电部分或所述至少一个支撑座的第二导电部分被所述隔绝部分分为所述至少一个支撑座的外导电部分和所述至少一个支撑座的内导电部分，所述至少一个导电通柱连接至所述至少一个支撑座的外导电部分，以及连接至未被所述隔绝部分分开的所述至少一个支撑座的第一导电部分或所述至少一个支撑座的第二导电部分。