含氟磺酸盐树脂、含氟Ｎ－磺醯氧基醯亚胺树脂、抗蚀剂组合物及使用其之图案形成方法

摘要

本发明提供一种树脂，其系于侧链并入磺酸鎓盐或含氟N-磺醯氧基醯亚胺化合物而使阴离子固定于树脂侧之抗蚀剂树脂，且DOF、LER、感光度及解像度较高。本发明之含氟磺酸盐树脂或含氟磺酸酯树脂具有下述通式所表示之结构，(式中，X分别独立地表示氢原子或氟原子，n表示1~10之整数，R表示氢原子、卤素原子或碳数1~3之烷基或含氟烷基，J表示二价连接基，a为0或1)。

主权项

一种含氟磺酸盐树脂，其具有下述通式(A)所表示之结构：(式中，X分别独立地表示氢原子或氟原子；n表示1~7之整数；R表示氢原子、卤素原子或碳数1~3之烷基或含氟烷基；J表示选自由下列基所组成之群的二价连接基：经取代或未经取代之亚甲基，经取代或未经取代之二价脂环式烃基，经取代或未经取代之二价芳香族烃基，经取代或未经取代之杂环基，以及经取代或未经取代之亚甲基、经取代或未经取代之二价脂环式烃基、经取代或未经取代之二价芳香族烃基、或经取代或未经取代之杂环基与选自由醚键、硫醚键、羰基、酯基、氧基羰基、醯胺基、磺醯胺基、胺基甲酸酯基、脲基所组成之群中之1种以上之连接基结合而成之二价连接基；J内之键结于碳原子上之任意数量之氢原子可经氟原子取代；于J内任意碳原子可包含或不包含取代基而形成环；a为1)。