一种在微加热器上涂覆敏感材料的设备及方法

摘要

本发明提供一种在微加热器上涂覆敏感材料的设备及方法，所述设备包括：载入装置和涂覆装置；所述载入装置包括：用于载入敏感材料的微喷嘴；套在微喷嘴的载料端的套筒；使微喷嘴内产生负压的压力调节器；所述涂覆装置包括：装载有敏感材料的微喷嘴；用于驱动微喷嘴的压电驱动器；用于夹持固定微喷嘴以使微喷嘴的进出料端垂直对准微加热器的表面的连接件；与所述压电驱动器相连的机架；所述机架设有供所述压电驱动器和所述微喷嘴沿竖直方向运动的滑槽；本发明还提供一种在微加热器上涂覆敏感材料的方法。本发明能够控制敏感材料的涂覆量和实时调节敏感材料的涂覆位置，解决了现有技术中无法将敏感材料定量、均匀地涂覆到微加热器表面的问题。

主权项

一种在微加热器上涂覆敏感材料的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，制作用于在所述微加热器表面涂覆载体的第一微喷嘴；所述第一微喷嘴的进出料端的端口内径为50μm～65μm；步骤2，配置一定粘度的载体，并使用压力调节器使所述第一微喷嘴内吸入配置好的载体；步骤3，将所述第一微喷嘴的进出料端垂直置于所述微加热器正上方一定高度处；调节第一微喷嘴与微加热器的相对位置，使所述第一微喷嘴对准待涂覆的微加热器的表面；步骤4，以脉冲惯性力驱动所述第一微喷嘴将所述载体涂覆在微加热器表面；步骤5，重复步骤3和步骤4，直至使所述载体涂覆所述微加热器的整个表面并形成设定的形状和厚度的载体涂层，同时烧结所述载体涂层；步骤6，制作用于在所述微加热器表面涂覆催化剂的第二微喷嘴；所述第二微喷嘴的进出料端的端口内径为25μm～35μm；步骤7，配置一定量的催化剂，并使用压力调节器使第二微喷嘴内吸入配置好的催化剂；步骤8，将第二微喷嘴的进出料端垂直置于微加热器正上方一定高度处；调节第二微喷嘴与微加热器的相对位置，使所述第二微喷嘴对准待涂覆的载体涂层的表面；步骤9，以脉冲惯性力驱动所述第二微喷嘴将第二微喷嘴内的催化剂涂覆在所述载体涂层的表面；步骤10，重复步骤8和步骤9，直至使所述催化剂涂覆所述载体涂层的整个表面；涂覆有催化剂的载体涂层构成敏感材料涂层，然后烧结所述敏感材料涂层。