空气流量测定装置

摘要

本发明提供一种测量精度高的空气流量测定装置。该空气流量测定装置包括：副通路，其取入吸气管内流过的流体流量的一部分；传感元件，其配置在副通路，测量流体流量；电路部，其将传感元件检测出的流体流量转换为电信号；连接器部，其具有与电路部电连接并将信号输出到外部的连接器；和壳体，其支承传感元件和电路部，传感元件配置在吸气管内，传感元件具有形成于半导体衬底的空洞部、和以覆盖空洞部的方式形成的由薄膜部构成的隔膜，传感元件安装于引线框，传感元件和引线框的表面以传感元件的隔膜部和引线框的一部分露出的方式用树脂模塑封装，在上述引线框，形成有至少一个以上的将空洞部与模塑封装的外部连结的孔。

主权项

一种空气流量测定装置，包括：副通路，其取入吸气管内流过的流体流量的一部分；传感元件，其配置在所述副通路，测量所述流体流量；电路部，其将所述传感元件检测出的流体流量转换为电信号；连接器部，其具有与所述电路部电连接并将信号输出到外部的连接器；和壳体，其支承所述传感元件和所述电路部，其中所述传感元件配置在所述吸气管内，所述空气流量测定装置的特征在于：所述传感元件具有形成于半导体衬底的空洞部、和以覆盖所述空洞部的方式形成的由薄膜部构成的隔膜，所述传感元件安装于引线框，所述传感元件和所述引线框的表面以所述传感元件的隔膜部和所述引线框的一部分露出的方式用树脂模塑封装，在所述引线框，形成有至少一个以上的将所述空洞部与所述模塑封装的外部连结的孔。