| 发明名称 | 微波离子源及其启动方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于启动微波离子源的实用方法、及根据这种启动方法而被控制的微波离子源。微波离子源（10）具备：等离子体室（12）；磁场发生器（16），用于在等离子体室（12）产生磁场；及控制装置（C），将磁场发生器（16）控制成对等离子体室（12）施加用于等离子体点火的初始磁场且在等离子体点火后使初始磁场变更为普通磁场。等离子体室（12）也可以具备用于接受微波的真空窗（24）、及离子引出开口（66）。初始磁场也可以从真空窗（24）遍及离子引出开口（66）具有平坦的磁场分布。 | ||
| 申请公布号 | CN103996591A | 申请公布日期 | 2014.08.20 |
| 申请号 | CN201410053592.3 | 申请日期 | 2014.02.17 |
| 申请人 | 住友重机械工业株式会社 | 发明人 | 高桥伸明;村田裕彦 |
| 分类号 | H01J27/16(2006.01)I | 主分类号 | H01J27/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 徐殿军 |
| 主权项 | 一种微波离子源，其特征在于，具备：等离子体室；磁场发生器，用于在所述等离子体室产生磁场；及控制部，将所述磁场发生器控制成，对所述等离子体室施加用于等离子体点火的初始磁场，且在等离子体点火后使所述初始磁场变更为普通磁场。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||