力学性能测试装置及用该装置测试微构件力学特性的方法

摘要

力学性能测试装置及用该装置测试微构件力学特性的方法，涉及力学性能测试装置及测试微构件力学特性方法。能测试不同工作条件下的微构件的力学特性。X-Y二维运动平台设置在大理石隔振平台上，微拉伸测试系统安装在X-Y二维运动平台上，动态测试系统安装在大理石横梁上，大理石横梁通过大理石立柱与理石隔振平台固接，原位观测系统安装在动态测试系统上。通过动态测试系统对竖直精密驱动单元的压电陶瓷驱动电源进行控制，通过微拉伸测试系统对水平精密驱动单元的压电陶瓷驱动电源进行控制，通过微拉伸测试系统的微力传感器记录的拉力数据和水平直线光栅测量装置的光栅尺记录位移数据，得到微构件应力应变曲线。本发明用于微构件力学特性测试。

主权项

一种力学性能测试装置，其特征是：它包括原位观测系统（1）、微拉伸测试系统（2）、辅助机械系统（3）和动态测试系统（4）；所述的机械辅助系统（3）包括X‑Y二维运动平台、大理石隔振平台（3‑3）、大理石横梁（3‑5）和两个大理石立柱（3‑4），所述的X‑Y二维运动平台设置在大理石隔振平台（3‑3）上面，且X‑Y二维运动平台的Y向运动平台（3‑1）设置在X向运动平台（3‑2）上面，所述的微拉伸测试系统（2）安装在Y向运动平台（3‑1）上面，所述的动态测试系统（4）安装在大理石横梁（3‑5）前侧面上，所述的大理石横梁（3‑5）的两端各通过一个所述的大理石立柱（3‑4）支撑，且两个大理石立柱（3‑4）的下端固定在大理石隔振平台（3‑3）上面，所述的原位观测系统（1）安装在动态测试系统（4）的竖直高精度电移台（4‑1）上；所述的动态测试系统（4）包括竖直高精度电移台（4‑1）和竖直精密驱动单元（4‑2），所述的竖直精密驱动单元（4‑2）安装在竖直高精度电移台（4‑1）的载物台上。