折反射式光刻照明中继镜组

摘要

一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，本发明具有结构简单，透过率高，成像质量高的特点，容易实现光刻照明系统和投影曝光系统的远心度匹配，可为掩模板提供均匀照明。

主权项

一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，其特征在于该镜组由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，其位置关系是：沿光束入射方向，依次是所述的折射透镜组、孔径光阑、球面反射镜阵列，且所述的折射透镜组、孔径光阑和球面反射镜阵列相对光轴呈轴对称放置，所述的孔径光阑设置在所述的球面反射镜阵列附近，所述的孔径光阑的中心与球面反射镜阵列的中心重合；在垂直于入射光并在折射透镜组的左边一定距离处放置平面反射镜，该平面反射镜的法线与光轴成45°夹角，该平面反射镜的中心与光轴的距离和物面中心与光轴的距离相等。