聚合物组成物及包含该组成物之光阻剂

摘要

一种聚合物，系包括包含下列单体的聚合产物：酸可脱保护单体、硷溶性单体、含内酯单体及光酸产生单体的单体；具有下式之链转移剂：其中，Z系y价C1-20有机基，x系0或1，Rd系经取代或未经取代之C1-20烷基、C3-20环烷基、C6-20芳基或C7-20芳烷基；以及，视需要之起始剂。

主权项

一种聚合物，包括包含下列单体的聚合产物：具有式(I)之酸可脱保护单体，具有式(II)之硷溶性单体，具有式(III)之含内酯单体，以及具有式(IV)之光酸产生单体：其中，Ra系各自独立为H、F、C1-10烷基或C1-10氟烷基，Rb系独立为C1-20烷基、C3-20环烷基、C6-20芳基、或C7-20芳烷基，且每个Rb系分开或至少一个Rb系键结至相邻Rb以形成环状结构，Q1系含酯或不含酯之C1-20烷基、C3-20环烷基、C6-20芳基或C7-20芳烷基，W系硷反应基，包含：-C(=O)-OH；-C(CF3)2OH；-NH-SO2-Y1(其中，Y1系F或C1-4全氟烷基)；芳族-OH；或前述之任一者与乙烯基醚之加成物，a系1至3之整数，L系单环、多环、或稠合多环之C4-20含内酯基，Q2系含酯或不含酯且经氟化或未经氟化，且系C1-20烷基、C3-20环烷基、C6-20芳基或C7-20芳烷基，A系含酯或不含酯且经氟化或未经氟化，且系C1-20烷基、C3-20环烷基、C6-20芳基或C7-20芳烷基，Z系包含磺酸盐之阴离子部份、磺醯胺之阴离子或磺醯亚胺之阴离子，G系具有式(V)：其中，X系S或I，每个Rc系经卤化或未经卤化且独立为C1-30烷基、多环或单环C3-30环烷基、多环或单环C4-30芳基，其中，当X为S时，该Rc基之一系视需要藉由单键连接至相邻之Rc基，以及z系2或3，其中，当X为I时，z系2，或当X为S时，z系3；具有式(IX)之链转移剂；于式(IX)中，Z系y价C1-20有机基，x系0或1，Rd系经取代或未经取代之C1-20烷基、C3-20环烷基、C6-20芳基、或C7-20芳烷基；以及y系1或更大之整数；以及视需要之起始剂。