用于板体之检测方法

摘要

为检测一板体，于一板体上设定一量测区域，且撷取参考资料与量测区域的量测资料。接着对该量测区域建立一转换条件，且根据介于参考资料与量测资料之间的变形程度建立一转换关系。之后，藉由使用至少一验证，一比较特征物件符合该转换关系，验证一选自于特征物件之验证特征物件符合该转换关系，且验证形成于一板体上之垫片符合该转换关系，以验证该转换关系的有效性。接着，确认该转换条件，根据该已确认转换条件，为检测一量测目标而设定一检测区域。因此，可正确地设定一检测区域，因而可补偿变形。

主权项

一种用于板体之检测方法，其包含：于该板体上设定一量测区域；撷取参考资料与该量测区域的量测资料；对该量测区域建立包括一比较特征物件的一转换条件；藉由将该参考资料与对应至该比较特征物件之量测资料互相比较，来根据一变形程度撷取一转换关系；藉由使用一第一验证方法、一第二验证方法以及一第三验证方法中之至少一者来验证该转换关系的有效性，该第一验证方法验证该比较特征物件符合该转换关系，该第二验证方法验证选自于除了该比较特征物件以外的特征物件之一验证特征物件符合转换关系，该第三验证方法验证一个对应至形成于该板体上的一检测目标之垫片符合该转换关系；在该转换关系被判定为有效的状况下，确认该转换条件；以及根据已确认之该转换条件，设定用于检测一量测目标之一检测区域；其中验证该转换关系之有效性系以该第一验证方法、该第二验证方法以及该第三验证方法之顺序来实行。