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经营范围
发明名称
图案转移基板装置及其图案转移基板
摘要
一种图案转移基板装置包含一环形治具以及一图案转移基板。环形治具具有一中空部。图案转移基板设置于中空部且由环形治具夹持,并具有一本体部及一凸部。凸部与本体部一体成型并位于本体部之一外缘。环形治具系夹持凸部。本发明之图案转移基板系形成于环形治具内,且藉由凸部可增加二者的连结强度,并且本发明之图案转移基板在环形治具夹持的情况下进行制程,因而能避免操作者触摸图案转移基板而避免污损。
申请公布号
TWI448842
申请公布日期
2014.08.11
申请号
TW101134461
申请日期
2012.09.20
申请人
国立成功大学 台南市东区大学路1号
发明人
李永春;张哲玮;谢易达;颜志男
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
刘正格 台北市中山区中山北路1段53巷20号之1
主权项
一种图案转移基板装置,包含:一环形治具,具有一中空部;以及一图案转移基板,设置于该中空部且由该环形治具夹持,并具有:一本体部;及一凸部,系与该本体部一体成型并位于该本体部之一外缘,该环形治具系夹持该凸部。
地址
台南市东区大学路1号
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