发明名称 图案转移基板装置及其图案转移基板
摘要 一种图案转移基板装置包含一环形治具以及一图案转移基板。环形治具具有一中空部。图案转移基板设置于中空部且由环形治具夹持,并具有一本体部及一凸部。凸部与本体部一体成型并位于本体部之一外缘。环形治具系夹持凸部。本发明之图案转移基板系形成于环形治具内,且藉由凸部可增加二者的连结强度,并且本发明之图案转移基板在环形治具夹持的情况下进行制程,因而能避免操作者触摸图案转移基板而避免污损。
申请公布号 TWI448842 申请公布日期 2014.08.11
申请号 TW101134461 申请日期 2012.09.20
申请人 国立成功大学 台南市东区大学路1号 发明人 李永春;张哲玮;谢易达;颜志男
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 刘正格 台北市中山区中山北路1段53巷20号之1
主权项 一种图案转移基板装置,包含:一环形治具,具有一中空部;以及一图案转移基板,设置于该中空部且由该环形治具夹持,并具有:一本体部;及一凸部,系与该本体部一体成型并位于该本体部之一外缘,该环形治具系夹持该凸部。
地址 台南市东区大学路1号