研磨装置

摘要

一种研磨装置，具有：研磨台(5)，其对具有研磨面(3a)的研磨件(3)进行支承；研磨头(4)，其具有用于将基板(W)按压到研磨面(3a)的顶环(15)；研磨头罩壳(50)，其覆盖研磨头(4)；第1清洗液供给机构(54)，其将清洗液供给到研磨头罩壳(50)的外周面(50a)；以及第2清洗液供给机构(61)，其将清洗液供给到研磨头罩壳(50)的内周面(50b)。采用本发明，可防止研磨液附着在研磨头上，进而可防止干燥了的研磨液落到研磨面上。

主权项

一种研磨装置，其特征在于，具有：研磨台，该研磨台对具有研磨面的研磨件进行支承；研磨头，该研磨头具有用于将基板按压到所述研磨面的顶环；研磨头罩壳，该研磨头罩壳覆盖所述研磨头；第1清洗液供给机构，该第1清洗液供给机构将清洗液供给到所述研磨头罩壳的外表面；以及第2清洗液供给机构，该第2清洗液供给机构将清洗液供给到所述研磨头罩壳的内表面。