发明名称 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置
摘要 一种玻璃基片装载装置,包括:与地面垂直设置的框架,框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口,窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸;相互间隔设置的两个连接件,每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连,另一端与玻璃基片的顶部可转动相连,两个连接件的两个另一端的间距随着玻璃基片受热膨胀而伸长,且随着玻璃基片冷却收缩而缩小;及限位件,设于框架位于窗口的底部,限位件上开设有收容玻璃基片的底部的凹槽。当玻璃基片膨胀时,玻璃基片的横向间距会增大,两个连接件也会随之自然的张开,连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。本发明还提供一种应用了玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。
申请公布号 CN102912310B 申请公布日期 2014.08.06
申请号 CN201210327591.4 申请日期 2012.09.06
申请人 深圳先进技术研究院;香港中文大学 发明人 陈旺寿;肖旭东;张撷秋;刘壮;顾光一;杨春雷;宋秋明
分类号 C23C14/50(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C23C14/50(2006.01)I
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人 吴平;刘诚
主权项 一种玻璃基片装载装置,所述玻璃基片装载装置设计成在轨道上移动,其特征在于,包括:与地面垂直设置的框架,所述框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口,所述窗口的尺寸大于所述玻璃基片的尺寸;相互间隔设置的两个连接件,每个连接件的一端开有安装孔,所述框架位于所述窗口的顶部开设有两个收容孔,通过穿过所述安装孔和所述收容孔的螺栓将连接件的一端与所述框架位于所述窗口的顶部转动相连,每个连接件的另一端设有连接柱,所述玻璃基片的顶部设有两个通孔,每一连接柱穿过一个通孔,将所述连接件的另一端与所述玻璃基片的顶部转动相连;所述两个收容孔之间的间距宽度大于设置在所述玻璃基片的顶部的所述两个通孔之间的间距,所述两个连接件成倒八字型;所述两个连接件的两个另一端的间距随着所述玻璃基片受热膨胀而伸长,且随着所述玻璃基片冷却收缩而缩小;及限位件,设于所述框架位于所述窗口的底部,所述限位件上开设有收容所述玻璃基片的底部的凹槽;所述限位件的横截面为U形。
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