平台定位系统及其方法

摘要

一种平台定位系统，包含一对位图样设置于一移动平台上；一电子束聚焦装置产生一聚焦电子束，对对位图样进行扫描，且产生一反射之电子讯号；一电子侦测单元侦测反射之电子讯号；以及一控制单元解读电子讯号，产生一时序信号，并依据此时序信号决定对位图样及电子束聚焦装置的相对位置，进而调整移动平台的位移。一种平台定位方法亦被提供，可克服移动平台进行旋转或多移动轴的作动时，所面临之机械定位漂移的问题。

主权项

一种平台定位系统，包含：一对位图样，设置于一移动平台上，该对位图样包含复数个且呈放射状排列之渐宽标记，且相邻该渐宽标记之间具有一间距；一电子束聚焦装置，产生一聚焦电子束；一扫描单元，连接该电子束聚焦装置，用以调整该聚焦电子束对该对位图样进行二维图案扫描，以便产生一反射之电子讯号；一电子侦测单元，侦测该反射之电子讯号；以及一控制单元，连接该移动平台、该电子束聚焦装置、该扫描单元及该电子侦测单元，其中该聚焦电子束经该二维图案扫描读取该些渐宽标记与读取该些间距所产生的该反射之电子讯号，经该控制单元解读产生一时序信号，且该控制单元依据该时序信号中之复数脉波的宽度调整该移动平台的位移。