发明名称 |
热解氮化硼被覆碳基材的制造方法;METHOD FOR PRODUCING PYROLYTIC BORON NITRIDE COATED CARBON BASE MATERIAL |
摘要 |
本发明提供能够透过简单的方法抑制热解氮化硼被覆膜与碳基材之间的剥离等的热解氮化硼被覆碳基材的制造方法。本发明是用热解氮化硼被覆碳基材的一部分或全部的热解氮化硼被覆碳基材的制造方法,其特征在于,碳基材的表面粗糙度较佳为以JIS B 0601-2001定义的算术平均粗糙度计调整为0.5 μm以上且小于7.0 μm,并使被覆膜的热膨胀系数接近于碳基材的热膨胀系数。 |
申请公布号 |
TW201430162 |
申请公布日期 |
2014.08.01 |
申请号 |
TW102146452 |
申请日期 |
2013.12.16 |
申请人 |
信越化学工业股份有限公司 |
发明人 |
加藤公二;山村和市 |
分类号 |
C23C16/34(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/34(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>詹铭文</name><name>叶璟宗</name> |
主权项 |
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地址 |
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 日本 |