基于上下文感知图案之自动化设计布局图案校正;AUTOMATED DESIGN LAYOUT PATTERN CORRECTION BASED ON CONTEXT-AWARE PATTERNS

摘要

提供的是用于自动化基于图案半导体设计布局校正的程序及设备。具体实施例包括扫描经绘制之半导体设计布局基于与预特征化之难以制造图案之匹配以判断经绘制之半导体设计布局内的难以制造图案、基于校正图案与预特征化之难以制造图案之间的预定校正而判断校正图案、以及以经绘制之半导体设计布局内的校正图案取代难以制造图案。