全单晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型涉及一种全单晶硅铸锭炉，包括炉体、隔热笼、上发热体、下发热体、侧发热体、上坩埚盖板、侧坩埚护板、石英坩埚、上热交换台、下热交换台、升降立柱、水冷盘；所述隔热笼为箱体型，固定在炉体内，隔热笼内部固定设有上发热体，侧发热体；隔热笼中部设有下热交换台与下发热体、升降立柱固定连接，上热交换台为活动式，其上放置石英坩埚，侧坩埚护板4，侧坩埚护板、上坩埚盖板；隔热笼底部外侧设有水冷盘。本实用新型结构合理，避免了已有技术中的不足之处，使整个热场横向热场梯度小，熔化硅料时间短，提高了单晶率，缩短了工艺周期，提高了设备的生产效率，可节约能耗、降低铸锭生产成本。

主权项

一种全单晶硅铸锭炉，包括炉体、隔热笼、上发热体、下发热体、侧发热体、上坩埚盖板、侧坩埚护板、石英坩埚、热交换台、升降立柱、水冷盘，所述隔热笼内部的上方固定设有上发热体，隔热笼内部的四周固定设有侧发热体，隔热笼中部设有热交换台，热交换台上平面置有石英坩埚，石英坩埚的四周设有侧坩埚护板，侧坩埚护板的上方设有上坩埚盖板，热交换台底部设有下发热体，其特征在于：所述隔热笼为箱体型，固定在炉体内；所述隔热笼内部的下发热体、热交换台与升降立柱连接；上坩埚盖板、侧坩埚护板、石英坩埚、下发热体、热交换台可随升降立柱一起上下移动。