一种便于晶圆拿取装置

摘要

本实用新型提供一种便于晶圆拿取装置，该装置设于工作平台上，包括晶圆盒、拨动机构、分别由电机控制的运行机构和槽轮机构；该晶圆盒包括顶板、底板和侧板，还包括第三轴和托盘，所述顶板、底板和侧板连接形成容纳腔，该容纳腔为一侧设有开口的半封闭容纳腔；所述第三轴竖直连接于顶板和底板间，并且该第三轴位于开口的一侧；所述托盘通过其边缘设有的卡环套接在第三轴上，所述卡环在与托盘相悖一侧外表面设有第一拨板；所述运行机构包括轨道和平板；所述拨动机构包括齿条和与该齿条相啮合的齿轮，所述齿条上端设有第二拨板，所述齿轮固定套接于第二轴上，所述齿条竖直且活动设置于平板上。本实用新型实现了机械手拾取晶圆的自动化。

主权项

一种便于晶圆拿取装置，该装置设于工作平台上，其特征在于：包括晶圆盒、拨动机构、运行机构和槽轮机构，所述运行机构连接有第一电机，槽轮机构连接有第二电机；所述槽轮机构包括第一轴、第二轴、带有圆柱销的转轮和具有四条径向槽的槽轮，所述转轮固定设置于第一轴上，并且该第一轴外接有电机，所述槽轮固定设置于第二轴上；所述晶圆盒设置于工作平台设有的支架上，该晶圆盒包括顶板、底板和侧板，还包括第三轴和托盘，所述顶板、底板和侧板连接形成容纳腔，该容纳腔为一侧设有开口的半封闭容纳腔；所述第三轴竖直连接于顶板和底板间，并且该第三轴位于开口的一侧；所述托盘为圆形且水平设置于容纳腔内，其边缘处设有卡环，所述卡环在与托盘相悖一侧外表面设有第一拨板，所述托盘的上表面设有多个弧形卡齿，并且该多个弧形卡齿内表面位于同一圆周上，所述托盘数量为多个，该多个托盘均通过托盘所设有的卡环叠加地转动连接于第三轴上，所述第三轴的轴心至开口另一侧的距离大于该轴心与托盘边缘最大距离，所述每个托盘和侧板间均水平设有弹簧；所述运行机构包括轨道和平板，所述轨道设置于工作平台上表面，所述平板上表面竖直设有支撑板，所述第一轴和第二轴均水平转动地设置于该支撑板上，所述平板通过其下表面设有的车轮位于轨道上，所述轨道包括直线部分和圆弧部分，并且所述直线部分位于晶圆盒的开口侧，所述圆弧部分位于晶圆盒的封闭侧，并且所述轨道的直线部分与第一拨板垂直，所述轨道的圆弧部分的圆心与第三轴的轴心重合；所述拨动机构包括齿条和与该齿条相啮合的齿轮，所述齿轮固定套接于第二轴上，所述齿条竖直且活动设置于平板上，并且该齿条两端均穿射出平板，在该齿条的上部设有能拨动第一拨板转动的第二拨板；所述工作平台上设有与轨道平行的贯穿槽，且该贯穿槽与齿条正对。