发明名称 |
用于制备甲硅烷的方法和设备 |
摘要 |
本发明涉及一种用于制备甲硅烷的设备,所述设备包括一个反应塔(100)并且反应塔带有一个三氯硅烷进料管(101)和一个用于生成的四氯化硅的排出管(102),以及至少一个冷凝器(103),通过所述冷凝器可以把制备的甲硅烷从反应塔排出,其中反应塔含有至少两个反应/蒸馏用反应区(104;105),所述反应区在不同的温度下运行并且含有不同的起催化作用的固体。此外,本发明还涉及一种通过三氯硅烷的催化歧化反应制备甲硅烷的方法,在所述方法中,歧化反应在至少两个反应/蒸馏用反应区(104;105)内进行,所述反应区在不同的温度下运行并且含有不同的起催化作用的固体。 |
申请公布号 |
CN102481491B |
申请公布日期 |
2014.07.23 |
申请号 |
CN201080030754.1 |
申请日期 |
2010.07.07 |
申请人 |
施米德硅晶片科技有限责任公司 |
发明人 |
A·佩特里克;C·施密德;J·哈恩 |
分类号 |
B01D3/00(2006.01)I;C01B33/04(2006.01)I |
主分类号 |
B01D3/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
温宏艳;林森 |
主权项 |
通过三氯硅烷(SiHCl<sub>3</sub>)的催化歧化反应制备甲硅烷(SiH<sub>4</sub>)的设备,所述设备包括一个反应塔(100)并且反应塔带有一个三氯硅烷进料管(101)和一个用于生成的四氯化硅(SiCl<sub>4</sub>)的排出管(102),以及至少一个冷凝器(103),通过所述冷凝器可以把制备的甲硅烷从反应塔排出,其中所述反应塔具有至少两个反应/蒸馏用反应区(104;105),所述反应区在不同的温度下运行并且含有不同的起催化作用的固体,其特征在于,至少一个反应区包含基于乙烯基吡啶的起催化作用的固体和至少一个反应区包含基于苯乙烯的起催化作用的固体,其中所述反应塔(100)是垂直定位的,以便在不同的温度下运行的反应区(104;105)彼此呈上下排列,和所述至少一个具有以乙烯基吡啶为基础的起催化作用的固体的反应区位于所述的至少一个具有以苯乙烯为基础的起催化作用的固体的反应区的下面。 |
地址 |
德国弗罗伊登施塔特 |