发明名称 倍半硅氧烷树脂
摘要 本发明涉及可用于抗反射涂层的倍半硅氧烷树脂,其中所述倍半硅氧烷树脂由以下单元组成(Ph(CH<sub>2</sub>)<sub>r</sub>SiO<sub>(3-x)/2</sub>(OR′)<sub>x</sub>)<sub>m</sub>(HSiO<sub>(3-x)/2</sub>(OR′)<sub>x</sub>)<sub>n</sub>(MeSiO<sub>(3-x)/2</sub>(OR′)<sub>x</sub>)<sub>o</sub>(RSiO<sub>(3-x)/2</sub>(OR′)<sub>x</sub>)<sub>p</sub>(R<sup>1</sup>SiO<sub>(3-x)/2</sub>(OR′)<sub>x</sub>)<sub>q</sub>其中Ph是苯基,Me是甲基;R′是氢原子或具有1至4个碳原子的烃基;R选自羟基产生基;R<sup>1</sup>选自取代的苯基、酯基、聚醚基、巯基、和反应性或可固化的有机官能团;r为0,1,2,3或4;x为0,1或2;其中在树脂中m为0至0.95;n为0.05至0.95;o为0.05至0.95;p为0.05至0.5;q为0至0.5;并且m+n+o+p+q≈1。
申请公布号 CN101970540B 申请公布日期 2014.07.23
申请号 CN200980107733.2 申请日期 2009.02.03
申请人 陶氏康宁公司 发明人 P-F·傅;E·S·梅尔
分类号 C08G77/38(2006.01)I;C08G77/04(2006.01)I;C08G77/20(2006.01)I;C08G77/18(2006.01)I;C08G77/08(2006.01)I;C08L83/04(2006.01)I;C08L83/06(2006.01)I;C09D183/04(2006.01)I;C09D183/06(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I 主分类号 C08G77/38(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 张钦
主权项 一种倍半硅氧烷树脂,其中所述倍半硅氧烷树脂由以下单元组成: (Ph(CH<sub>2</sub>)<sub>r</sub>SiO<sub>(3‑x)/2</sub>(OR”)<sub>x</sub>)<sub>m</sub>(HSiO<sub>(3‑x)/2</sub>(OR”)<sub>x</sub>)<sub>n</sub>(MeSiO<sub>(3‑x)/2</sub>(OR”)<sub>x</sub>)<sub>o</sub>(RSiO<sub>(3‑x)/2</sub>(OR”)<sub>x</sub>)<sub>p</sub>(R<sup>1</sup>SiO<sub>(3‑x)/2</sub>(OR”)<sub>x</sub>)<sub>q</sub>其中Ph是苯基,Me是甲基;R”是氢原子或具有1至4个碳原子的烃基;R选自羟基产生基,其具有通式‑(CH<sub>2</sub>)<sub>3</sub>‑CO<sup>t</sup>Bu,‑(CH<sub>2</sub>)<sub>2</sub>‑CO‑SiMe<sub>3</sub>,‑(CH<sub>2</sub>)<sub>2</sub>‑(OCH<sub>2</sub>CH<sub>2</sub>)<sub>d</sub>‑CO<sup>t</sup>Bu或‑(CH<sub>2</sub>)<sub>3</sub>‑(OCH<sub>2</sub>CH<sub>2</sub>)<sub>d</sub>‑CO‑SiMe<sub>3</sub>,其中d为1至10;R<sup>1</sup>选自反应性或可固化的有机官能团;r为0,1,2,3或4;x为0,1或2;其中在树脂中m为0至0.95;n为0.05至0.95;o为0至0.95;p为0.05至0.5;q为0至0.5;并且m+n+o+p+q≈1;其中所述树脂包含6‑38摩尔%具有‑OR”基的单元。 
地址 美国密执安