MEMS谐振器阵列结构和操作与使用该MEMS谐振器阵列结构的方法

摘要

布置成N×M MEMS阵列结构的谐振器包括由弯曲/圆角部分连接的基本平直延伸的梁部分，并经由耦合部分机械耦合到阵列的至少一个相邻谐振器，每个细长梁部分经由弯曲/圆角部分在远端连接到另一细长梁部分，形成几何形状，耦合部分设置于相邻谐振器的细长梁部分之间。在被诱发时，谐振器在组合的伸长/呼吸和弯曲模式下以基本相同的频率振动，(即，梁部分表现出像伸长/呼吸那样和像弯曲那样的运动)。一个或多个阵列结构的谐振器可以在结构的弯曲部分的一个或多个区域中包括一个或多个节点(即，基本静止和/或几乎不运动)，这些是将谐振器/阵列锚定到基底的适当和/或优选位置。

主权项

一种MEMS阵列结构，包括：包括第一体模式谐振器和第二体模式谐振器的多个体模式谐振器；以及至少一个谐振器耦合部分，包括设置于所述第一体模式谐振器和所述第二体模式谐振器之间的第一谐振器耦合部分，以机械耦合所述第一体模式谐振器和所述第二体模式谐振器；其中，所述多个体模式谐振器具有第一振动状态，其中所述第一体模式谐振器至少部分沿第一方向和第二方向中的至少一个方向收缩并且至少部分沿第三方向和第四方向中的至少一个方向膨胀，并且其中所述第二体模式谐振器至少部分沿所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向膨胀并且至少部分沿所述第三方向和所述第四方向中的至少一个方向收缩，其中所述第二方向与所述第一方向相反，所述第四方向和所述第三方向相反。