图案形成体的制造方法以及电磁束加工装置

摘要

一种不会使凹部的形状变形而可简易地形成点状图案的图案形成体的制造方法。此方法是制造点状图案排列而形成的图案形成体的方法。此制造方法包括：准备步骤，准备具有藉由照射电磁束进行加热时会发生形状变化的光阻层的基板；以及曝光步骤，对上述光阻层一方面扫描雷射光一方面进行照射，而去除上述光阻层的一部分；且于上述曝光步骤中，将使雷射光发光的时间设定为形成于上述光阻层上的多个凹部21的扫描方向上的间距所对应的扫描时间的10%～40%。

主权项

一种图案形成体的制造方法，其是制造点状图案排列而形成的图案形成体的方法，其特征在于包括：准备步骤，准备具有藉由照射电磁束而加热时会发生形状变化的光阻层的基板；以及曝光步骤，对上述光阻层一方面扫描电磁束一方面进行照射不进行显影，去除上述光阻层的一部分而形成凹部；于上述曝光步骤中，对上述光阻层扫描电磁束时的线速度设定为6m/s~200m/s，将使电磁束发光的时间设定为形成于上述光阻层上的多个凹部的扫描方向上的间距所对应的扫描时间的10%~25%。