压印设备、位置侦测设备、对齐设备、和制造物品的方法

摘要

压印设备包括侦测器与调整装置。形成在基板上之第二记号包括在第一及第二方向中具有栅格间距之栅格图案，该第一及第二方向分别平行于第一及第二轴线，该等轴线系平行于该模子之图案表面且彼此正交。形成在该模子上之第一记号包括具有于该第一方向中之栅格间距的栅格图案。该第一与该第二记号于该第一方向中具有不同之栅格间距。该侦测器包括影像感测器、及在该影像感测器之影像感测表面上形成叠纹的光学系统。该调整装置在包括该第二轴线及垂直于该第一轴线与该第二轴线的第三轴线之平面中调整该侦测器的光轴与该第三轴线间之角度。

主权项

一种压印设备，其以模子将压印材料模制在基板上，以在该基板上形成图案，该设备包括：夹具，被组构来固持模子，第一记号系形成在该模子上；架台，被组构来固持基板，第二记号系形成在该基板上；侦测器；及调整装置，被组构来调整该侦测器之光轴的角度，其中该第二记号包括在第一方向及第二方向中具有栅格间距之栅格图案，该第一方向及第二方向分别平行于第一轴线及第二轴线，该等轴线系平行于该模子之图案表面且彼此正交，其中该第一记号包括具有于该第一方向中之栅格间距的栅格图案，其中该第一记号与该第二记号于该第一方向中具有彼此不同之个别的栅格间距，其中该侦测器包括影像感测器、及被组构来使用光在该影像感测器之影像感测表面上形成叠纹的光学系统，该光系倾斜地入射在该第一记号上、透射经过该第一记号之栅格、由该第二记号之栅格所绕射、及再次透射经过该第一记号之栅格，及其中该调整装置被组构来改变该侦测器的光轴与垂直于该第一轴线及第二轴线的该第三轴线间之角度。