| 摘要 |
本发明揭示一种用于利用一参考微影系统来调谐一第一微影系统之以模型为基础之调谐方法，该两个微影系统中之每一者具有用于控制成像效能之可调谐参数。该方法包括以下步骤：界定一测试图案及一成像模型；利用该参考微影系统来成像该测试图案且量测成像结果；利用该第一微影系统来成像该测试图案且量测成像结果；对应于该参考微影系统而利用该等成像结果来校准该成像模型，其中该经校准成像模型具有一第一参数值集合；对应于该第一微影系统而利用该等成像结果来调谐该经校准成像模型，其中该经调谐之经校准模型具有一第二参数值集合；及基于该第一参数值集合与该第二参数值集合之间的一差来调整该第一微影系统之该等参数。 |
