发明名称 Verfahren zum Herstellen mehrerer Nanodrähte
摘要 Verfahren zum Herstellen mehrerer Nanodrähte, wobei das Verfahren Folgendes beinhaltet: Bereitstellen eines Trägers, der eine exponierte Oberfläche eines zu bearbeitenden Materials aufweist, und Anwenden einer Plasmabehandlung auf die exponierte Oberfläche des zu bearbeitenden Materials, um dadurch mehrere Nanodrähte aus dem zu bearbeitenden Material während der Plasmabehandlung zu bilden.
申请公布号 DE102014100052(A1) 申请公布日期 2014.07.17
申请号 DE201410100052 申请日期 2014.01.06
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 LEMKE, MARKO;TEGEN, STEFAN;RUDOLPH, UWE
分类号 B82B3/00;H01M4/75 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
主权项
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