光罩毛胚及其制造方法，光罩之制造方法，暨半导体装置之制造方法

摘要

本发明提供一种光罩毛胚及光罩之制造方法，该光罩毛胚因于遮光膜图案化时具有良好的平坦度，可获得良好的遮罩图案精度及图案转印精度。本发明中所提供之光罩毛胚，系于透光性基板上具有至少包含铬之遮光膜，预料因对形成于上述遮光膜上之光阻膜之加热处理所引起的遮光膜的膜应力变化，形成产生与该膜应力变化呈相反方向之所需膜应力之遮光膜。藉由乾式蚀刻处理使该光罩毛胚中之上述遮光膜进行图案化，藉此制造光罩。