发明名称 |
TFT玻璃基板减薄液及其制备方法、TFT玻璃基板减薄工艺 |
摘要 |
本发明提供了一种TFT玻璃基板减薄液,包括:氢氟酸10%~12%,氟化氢铵4%~6%,硝酸5%~8%,硫酸5%~8%,水余量。将TFT玻璃基板减薄液的各组分混合在一起,既得成品。本发明提供的TFT玻璃基板减薄液可以稳定蚀刻速率,针对硼硅玻璃材质蚀刻效果更佳,能有效控制化学蚀刻过程中玻璃产生的凹点、划伤缺陷的放大,软化玻璃粉解决蚀刻过程中边缘凸起问题,且安全、稳定,有效满足TFT玻璃基板减薄品质要求,满足了客户的需求。 |
申请公布号 |
CN103922602A |
申请公布日期 |
2014.07.16 |
申请号 |
CN201410136026.9 |
申请日期 |
2014.04.04 |
申请人 |
惠州市清洋实业有限公司 |
发明人 |
郑资来;李胜坤 |
分类号 |
C03C15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C03C15/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 |
代理人 |
黄冠华 |
主权项 |
一种TFT玻璃基板减薄液,其特征在于,按照质量百分比计,其组分包括:氢氟酸 10%~12%,氟化氢铵 4%~6%,硝酸 5%~8%,硫酸 5%~8%水余量。 |
地址 |
516032 广东省惠州市潼侨镇宏川大道南面 |