树脂组合物、固化膜、其形成方法、半导体元件及显示元件

摘要

本发明涉及树脂组合物、固化膜、其形成方法、半导体元件及显示元件。所述树脂组合物含有[A1]具有结构单元(I)和结构单元(II-1)的聚合物，该结构单元(I)包含由下述式(1)表示的基团以及下述式(2)表示的基团组成的组中选出的至少一种，该结构单元(II-1)包含交联性基团(a1)。所述树脂组合物可形成具有优异的表面硬度并且可充分满足灵敏度、显影密接性、耐化学品性、耐热性、透射率以及相对介电常数等一般特性的固化膜，且保存稳定性优异。

主权项

一种固化膜形成用热固化性树脂组合物，其含有[A1]具有结构单元(I)和结构单元(II‑1)的聚合物，该结构单元(I)包含由下述式(1)表示的基团以及下述式(2)表示的基团组成的组中选出的至少一种，该结构单元(II‑1)包含交联性基团(a1)，【化1】式(1)中，R¹以及R²各自独立地为氢原子、碳原子数1～4的烷基或碳原子数1～4的氟代烷基，并且，R¹以及R²之中的至少一个是碳原子数1～4的氟代烷基，式(2)中，R³以及R⁴各自独立地为氢原子、卤素原子、碳原子数1～4的烷基或碳原子数1～4的氟代烷基，并且，R³以及R⁴之中的至少一个是卤素原子或碳原子数1～4的氟代烷基。