| 发明名称 | 纳米压印用模具的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于制造m个（m为1以上的整数）在铝基材的表面形成有阳极氧化铝的纳米压印用模具的方法，所述阳极氧化铝具有由多个孔形成的微细凹凸结构，该方法具有一次以上的下述工序：对于m个铝基材，分别在电解液中对铝基材进行阳极氧化的阳极氧化工序，在全部前述阳极氧化工序中，电解液中的铝浓度X与即将进行第一个铝基材的第一次阳极氧化工序之前的电解液中的铝浓度X<sub>0</sub>的差（X-X<sub>0</sub>）为1000ppm以下。 | ||
| 申请公布号 | CN103299397B | 申请公布日期 | 2014.07.16 |
| 申请号 | CN201280004553.3 | 申请日期 | 2012.07.13 |
| 申请人 | 三菱丽阳株式会社 | 发明人 | 小泽觉;小岛克宏 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I;B29C33/38(2006.01)I;B29C59/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种纳米压印用模具的制造方法，其用于制造m个在铝基材的表面形成有阳极氧化铝的纳米压印用模具，其中，m为1以上的整数，所述阳极氧化铝具有由多个孔形成的、周期为可见光的波长以下的微细凹凸结构，该方法具有一个以上的下述工序：对于m个铝基材，分别在电解液中对铝基材进行阳极氧化的阳极氧化工序，在全部所述阳极氧化工序中，电解液中的铝浓度X与即将进行第一个铝基材的第一次阳极氧化工序之前的电解液中的铝浓度X<sub>0</sub>的差（X‑X<sub>0</sub>）为1000ppm以下。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||