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Es wird eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung vorgestellt, mit der leicht eine Unterscheidung zwischen den Winkeln und den Energien von sekundären Ladungsteilchen oder rückgestreuten Ladungsteilchen unterschieden werden kann, um die für eine Abbildung erforderlichen Informationen zu erhalten. Die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung umfaßt eine Ladungsteilchenquelle, die einen primären Ladungsteilchenstrahl abgibt, eine Kondensorlinse zum Fokussieren des primären Ladungsteilchenstrahls auf eine Probe und einen Detektor zum Erfassen von sekundären Ladungsteilchen, die von dem bestrahlten Punkt auf der Probe emittiert werden, und des weiteren eine Impulsverarbeitungseinheit, die das Signal vom Detektor einer Impulsverarbeitung unterwirft und Informationen über die Energieverteilung der sekundären Ladungsteilchen erzeugt, sowie eine Steuereinheit zum Auswählen von Informationen für einen beliebigen Energiebereich aus den Informationen über die Energieverteilung und zum Anzeigen einer Abbildung an einer Anzeigeeinheit. |
