一种光刻胶的剥离装置及剥离方法

摘要

本发明公开了一种光刻胶的剥离装置及剥离方法，该剥离装置包括：剥离单元、预清洗单元、清洗单元和检测单元；其中，检测单元在检测到基板处于静止状态，基板所处位置部分位于预清洗单元且部分位于剥离单元时，可以控制预清洗单元中的喷头停止对基板喷淋清洗液，这样可以防止预清洗单元中的喷头喷淋到基板上的清洗液会顺着基板流入剥离单元中的储罐内，从而可以避免污染储罐内的剥离液，进而避免影响后续的剥离工艺。

主权项

一种光刻胶的剥离装置，包括：设置有用于喷淋剥离液的喷头的剥离单元以及设置有用于喷淋清洗液的喷头的预清洗单元和清洗单元，其特征在于，还包括：检测单元，用于在检测到基板处于静止状态，所述基板所处位置部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时，控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液。