发明名称 PROCEDE AMELIORE DE REALISATION D'UNE STRUCTURE DE REPRISE DE CONTACT
摘要 <p>La présente demande concerne un procédé de réalisation d'une structure conductrice comprenant des étapes de : a) formation sur une face donnée du support (100-103) comprenant au moins un élément conducteur (105a, 515) d'au moins une zone d'absorption de contraintes à base d'un matériau diélectrique (106), b) formation d'au moins une ouverture (108a) dans ledit matériau diélectrique (106) en appliquant un moule (200, 300, 400) sur ledit matériau diélectrique (106), ladite ouverture étant dotée de parois inclinées par rapport à une normale au plan principal dudit support, le fond de ladite ouverture dévoilant ledit élément conducteur (105a, 515), c) remplissage de ladite ouverture à l'aide d'un matériau conducteur (111).</p>
申请公布号 FR3000598(A1) 申请公布日期 2014.07.04
申请号 FR20120062851 申请日期 2012.12.27
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES;STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS 发明人 COLONNA JEAN PHILIPPE;AUMONT CHRISTOPHE;LANDIS STEFAN
分类号 H01L21/28;H01L21/44;H01L23/522 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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