一种激光退火装置及其操作方法

摘要

本发明提出一种激光退火装置，其特征在于，沿光路依次包括：激光器、准直系统、扩束系统、匀光系统、分光聚焦系统、步进单元、工件台单元、能量监测单元以及轮廓监测系统；其中，所述步进单元控制曝光光斑进行步进运动，所述工件台单元控制硅片进行扫描运动。本发明将工件台进行简化，工件台仅带动硅片进行扫描运动，而使最后的线性光斑（即分光聚焦系统）进行步进运动，从而可以降低工件台的结构设计复杂程度和成本；同时，由于分光聚焦系统在尺寸和空间大小上都远小于工件台，这样相应的导轨、电机以及冲击力和可靠性等都会有显著的简化，空间和成本得到显著的提高。本发明还公开了该激光退火装置的操作方法。

主权项

一种激光退火装置，其特征在于，沿光路依次包括：激光器、准直系统、扩束系统、匀光系统、分光聚焦系统、步进单元、工件台单元、能量监测单元以及轮廓监测系统；从激光器出射的激光，依次经过准直系统、扩束系统、匀光系统后，经分光聚焦系统入射到硅片上；小部分能量经分光后分别入射到能量监测单元和轮廓监测系统；其中，所述步进单元控制曝光光斑进行步进运动，所述工件台单元控制硅片进行扫描运动。