| 发明名称 |
利用增加气体密度的温度调整方法;METHOD FOR ADJUSTING TEMPERATURE WITH GAS DENSITY INCREASED |
| 摘要 |
本发明系关于一种利用增加气体密度的温度调整方法。该方法包含下列步骤：藉由至少一气体将一腔室充气至一预定压力，其中该预定压力大于1 atm并且小于或等于50 atm；使该腔室内的该气体流至一可回授温度调整装置，其中该可回授温度调整装置包含一冷却器以及一气体返回装置；藉由该冷却器来冷却该气体；以及藉由该气体返回装置使该气体返回到该腔室内。 |
| 申请公布号 |
TW201424839 |
申请公布日期 |
2014.07.01 |
| 申请号 |
TW101149293 |
申请日期 |
2012.12.22 |
| 申请人 |
晨迅科技有限公司 |
发明人 |
洪志宏 |
| 分类号 |
B01J3/00(2006.01);C23C14/54(2006.01);C23C16/52(2006.01) |
主分类号 |
B01J3/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
周良吉 |
| 主权项 |
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| 地址 |
MORNINGMOVING TECHNOLOGY CO., LTD. 新竹市关新路19巷31号3楼 |
