电浆处理装置

摘要

电浆处理装置具备：真空处理容器(34)；以及配设于该容器内，用以载置被处理体(W)之载置台(36)。处理容器(34)具有：形成着上部开口之筒状之容器本体(34A)、以及气密地装设于该本体之上部开口之可透过电磁波之电介质制之天板(50)。具备可经由天板将电浆产生用之电磁波供给容器内之电磁波供给系(54)；以及对容器内供给含有处理气体在内之气体之气体供给系(110)。于天板(50)，形成将气体供给系所供给之气体对容器内喷出之气体喷射孔(108)。于各喷射孔(108)内，配置着具有通气性之电介质制之放电防止构件(120)。

主权项

一种电浆处理装置，其特征为具有：真空处理容器，具有形成着上部开口之筒状之容器本体、气密地装设于该本体之前述上部开口之可使电磁波透过之电介质制之天板；载置台，配设于前述处理容器内，用以载置被处理体；电磁波供给系，经由前述天板对前述处理容器内供给电浆产生用之电磁波；气体供给系，对前述处理容器内供给含有处理气体之气体，其中于前述天板，形成复数之气体喷射孔，用以将前述气体供给系所供给之气体对前述处理容器内喷出；复数之具有通气性之电介质制之放电防止构件，该等放电防止构件每一者配设于每一个喷射孔内，其中每一个放电防止构件进一步包含具通气性之电介质制之放电防止构件本体、及至少覆盖于前述放电防止构件本体之侧面之不具通气性之电介质制之致密构件，于前述天板，形成复数之气体流路，用以将前述气体供给系所供给之气体导入每一个气体喷射孔；以及复数之气体压头空间，每一者具有大于每一个气体流路之剖面积的剖面积，每一个气体压头空间配设于每一个气体流路及每一个气体喷射孔之间，其中每一个气体压头空间及每一个气体流路系配设于该等放电防止构件之每一者上方。