用于制造光耦合装置的制造方法;METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL COUPLER

摘要

本发明提供一种用于制造光耦合装置的制造方法，其包括：提供一个平板光波导，该平板光波导包括一个顶面及一个与该顶面垂直连接的侧面，该侧面用于与一个雷射光源对接且该雷射光源发出的雷射光束垂直射入该侧面；利用高折射率材料在该顶面镀上一层介质光栅薄膜，该介质光栅薄膜包括多条垂直于该侧面的条状部分；及在该顶面形成一对条状电极，该对电极分别位于该介质光栅薄膜两侧，并平行于该多个条状部分。该制造方法制造出的该光耦合装置可以有效的将该雷射光束会聚入一个光学元件。