锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体之方法;APPARATUS FOR PREPARING GERMANE GAS AND METHOD FOR PREPARING MONOGERMANE GAS USING THE SAME

摘要

本发明关于一种锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体之方法。本发明特别关于一种锗烷气体制备装置，藉由在短时间之内混合起始原料，有能力稳定地产生大量的单锗烷气体，并且使用具有一微结构通道之一反应器同时移除反应热，及利用其制备单锗烷气体之方法。根据本发明，可轻易控制锗烷气体大量产生时快速增加之温度与压力。藉此，单锗烷气体可被大规模且高产率的生产。