曲率量测系统及其方法;CURVATURE MEASUREMENT SYSTEM AND METHOD THEREOF

摘要

一种曲率量测方法，以量测一样品之曲率，其包括：产生一第一入射光束与一第二入射光束，并投射至该样品，以形成一第一反射光束与一第二反射光束；放大该第一反射光束与该第二反射光束，以形成一第一检测光束与一第二检测光束；以及撷取该第一检测光束与该第二检测光束，以得出该些入射光束之一光点偏移量，并计算出一曲率。