湿法腐蚀NiCrSi膜的方法

摘要

本发明涉及一种湿法腐蚀NiCrSi膜的方法。本发明方法由于采用了单独用水枪近距离对硅片双面冲洗的步骤，有效解决了现有常规腐蚀方法中其硅片表面硫酸铈难以去除的问题；由于湿法腐蚀NiCrSi后生成物硫酸铈不溶于水，不适合常规腐蚀方法的一次腐蚀多个硅片，只能适合本发明的单片逐一腐蚀，因此本发明方法在原材料成本控制上优于常规腐蚀方法。本发明方法通过采用固定支架的培养皿，有效解决了常规方法的操作不便问题；通过采用单独放置硅片的带提手的工夹具，有效解决了常规腐蚀方法的过腐蚀问题。本发明方法在腐蚀NiCrSi膜后，硅片表面由硫酸铈造成的点子缺陷小于20个/视场，其加工的表面镜检合格率能达90%以上。

主权项

一种湿法腐蚀NiCrSi膜的方法，包括以下几个步骤：1）制备带NiCrSi膜腐蚀窗口的硅片；2）配制腐蚀液，所述腐蚀液的配制步骤为：结晶硫酸高铈25g倒入玻璃瓶中，并向所述玻璃瓶中倒入250ml去离子水；腐蚀槽中装占腐蚀槽体积2/3的水，加热；玻璃瓶放入所述腐蚀槽中，不断用玻璃棒搅拌，直至形成桔黄色的结晶硫酸高铈饱和溶液；再将25ml硝酸加入玻璃瓶中，不断用玻璃棒搅拌，直至形成橙红色的溶液；从腐蚀槽中取出玻璃瓶，常温静置、冷却5分钟以上，形成透明的腐蚀液；3)对所述腐蚀窗口上的NiCrSi膜进行腐蚀；4)对腐蚀后的硅片进行正反面的水枪近距离冲水处理，再在常规冲水槽中进行远距离冲水处理：右手拿镊子夹住硅片，左手及时拿与常规冲水槽压力相当的水枪近距离冲洗硅片正反面各5次；再将所述硅片放入四氟花蓝中，并放入清洗腐蚀系统中的冲水槽进行常规的冲水处理；5)对腐蚀后的硅片用发烟硝酸进行清洗处理。