一种AZO靶材及AZO透明导电薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种高致密度AZO靶材的制备方法及用该靶材制备具有良好的光电性能AZO透明导电薄膜的方法，包括以下步骤：在介质中加入ZnO及Al₂O₃球磨，使其充分混合；将球磨后的样品充分干燥，加入聚乙烯醇造粒，然后用粉末压片机压制成型；用激光脉冲沉积技术（PLD）将靶材沉积到普通载玻片上。本发明所使用的原料廉价并且整个过程不用考虑气体成分的影响，工艺简单，制备的AZO透明导电薄膜具有低的电阻率、高的可见光透过率以及高的红外反射率，可满足低辐射镀膜玻璃和平板显示所用镀膜玻璃的要求。

主权项

一种AZO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将ZnO和Al₂O₃混合球磨，加入聚乙烯醇造粒，然后干燥，再压制成型，得到素坯；2）素坯经烧结后得到AZO靶材。