发明名称 载置台架及曝光装置
摘要
申请公布号 TWI442190 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW100138324 申请日期 2011.10.21
申请人 拓普康股份有限公司 日本 发明人 落合亮;吉田茂
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本