一种可调压式多晶硅还原进料引射器

摘要

一种可调压式多晶硅还原进料引射器，包括吸入室、混合室和扩压器，所述吸入室的侧壁上设有倾斜的进料器入口，所述吸入室与混合室连通，混合室的后部与扩压器连接，所述吸入室内部安装有可伸缩喷嘴，所述可伸缩喷嘴在所述吸入室中距离混合室入口之间的距离可调。本实用新型,提高多晶硅还原炉进气速度并实现可控可调；可提高多晶硅沉积速率，有效提高三氯氢硅一次转化率，使精制三氯氢硅的有效利用率大为提高；降低多晶硅沉积时间，提高单炉生产效率；市场推广空间大。

主权项

一种可调压式多晶硅还原进料引射器，其特征在于，包括吸入室、混合室和扩压器，所述吸入室的侧壁上设有倾斜的进料器入口，所述吸入室与混合室连通，混合室的后部与扩压器连接，所述吸入室内部安装有可伸缩喷嘴，所述可伸缩喷嘴在所述吸入室中距离混合室入口之间的距离可调。