发明名称 |
覆晶封装晶片结合平台温度稳定治具 |
摘要 |
本发明提供了一种覆晶封装晶片结合平台温度稳定治具,其设于结合平台一侧,包括一治具支架,其上设一吹气管,所述吹气管具有一进气口及一出气口。所述出气口口径小于进气口口径。所述出气口为若干个出气口组成。与现有技术相比,本发明之治具可对结合平台外表面进行降温,与结合平台自身温控系统共同作用,使整个系统处在设定的温度状态,对温度控制更迅速,能够更及时地控制软性基板的涨缩,对覆晶结合精度提供有力的保证,尤其对微间距软性基板覆晶封装有明显效果,能提高产品品质。 |
申请公布号 |
CN103871834A |
申请公布日期 |
2014.06.18 |
申请号 |
CN201210534300.9 |
申请日期 |
2012.12.12 |
申请人 |
颀中科技(苏州)有限公司 |
发明人 |
张宏伟 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 |
代理人 |
杨林洁 |
主权项 |
一种覆晶封装晶片结合平台温度稳定治具,其设于覆晶封装晶片结合平台一侧,其特征在于,包括一治具支架,其上设一吹气管,所述吹气管具有一进气口及一出气口。 |
地址 |
215021 江苏省苏州市苏州工业园区凤里街166号 |