加速度传感器和用于运行加速度传感器的方法

摘要

本发明涉及一种加速度传感器，包括：壳体(58)；第一感振质量(50)，它构造为不对称的第一摆杆并且通过至少一个第一弹簧(54)设置在所述壳体(58)中；第二感振质量(52)，它构造为不对称的第二摆杆并且通过至少一个第二弹簧(54)设置在所述壳体(58)中；和传感器和分析装置(66a，66b，68a，68b)，它被设计用于求得关于所述第一感振质量(50)和所述第二感振质量(52)相对于所述壳体(58)的相应的旋转运动的信息以及在考虑所求得的信息的条件下确定关于所述加速度传感器的加速度(69)的加速度信息。本发明还涉及一种用于运行加速度传感器的方法。这些摆杆在存在加速度时执行相反的旋转运动。信号的差动分析允许测量信号不受可能的干扰信号影响。

主权项

加速度传感器，包括：壳体（58）；第一感振质量（50，80），它构造为不对称的第一摆杆并且通过至少一个第一弹簧（54）这样地设置在所述壳体（58）中，使得所述第一感振质量（50，80）能相对于所述壳体（58）围绕所述第一弹簧（54）的扭转轴线（60）调节；第二感振质量（52，82），它构造为不对称的第二摆杆并且通过至少一个第二弹簧（54）这样地设置在所述壳体（58）中，使得所述第二感振质量（52，82）能相对于所述壳体（58）围绕所述第二弹簧（54）的扭转轴线（60）调节；和传感器和分析装置（66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b），它被设计用于求得关于所述第一感振质量（50，80）和所述第二感振质量（52，82）相对于所述壳体（58）的相应的旋转运动的信息以及在考虑所求得的信息的条件下确定关于所述加速度传感器的加速度（69）的加速度信息；所述第一感振质量（50，80）包括设置在所述第一弹簧（54）的扭转轴线（60）的第一侧的第一电极和设置在所述第一弹簧（54）的扭转轴线（60）的第二侧的第二电极，所述第二感振质量（52，82）包括设置在所述第二弹簧（54）的扭转轴线（60）的第一侧的第三电极和设置在所述第二弹簧（54）的扭转轴线（60）的第二侧的第四电极，并且所述传感器和分析装置（66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b）包括四个相对于所述壳体（58）固定地设置的配对电极（66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b）；其特征在于，与所述第三电极形成一个第三电容器的第三配对电极（68a，94a）包括两个分开的电极面，与所述第一电极形成一个第一电容器的第一配对电极（66a，92a）位于这两个电极面之间，与所述第四电极形成一个第四电容器的第四配对电极（68b，94b）包括两个分开的电极面，与所述第二电极形成一个第二电容器的第二配对电极（66b，92b）位于这两个电极面之间。