发明名称 一种制备碲化亚铜薄膜的方法
摘要 一种制备碲化亚铜薄膜材料的方法,属于光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤获得,首先清洗铜基片,然后将TeO<sub>2</sub>放入溶剂中,并调整pH值,用旋涂法在铜片上得到前驱体薄膜,烘干,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触,将此密闭容器进行加热后,取出样品并干燥,得到碲化亚铜光电薄膜。本发明不需要高温和真空条件、对设备仪器要求低并容易操作,具有生产成本低、效率高等优点。这种新工艺为制备高性能的碲化亚铜光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。
申请公布号 CN103864027A 申请公布日期 2014.06.18
申请号 CN201410085556.5 申请日期 2014.03.03
申请人 山东建筑大学 发明人 刘科高;高稳成;迟克训;李静;徐勇;石磊
分类号 C01B19/04(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C01B19/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种制备碲化亚铜薄膜的方法,包括如下步骤:a.铜基片的打磨清洗;b.将1.873份TeO<sub>2</sub>放入39.789份去离子水中均匀混合;c.在匀胶机上吸附基片并在表面均匀涂抹步骤b所述溶液后烘干,得到前驱体薄膜样品;d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有1.791份水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触;将装有前驱薄膜样品的密闭容器放入烘箱中,加热至160~220℃之间,保温时间10~20小时,然后冷却到室温取出;e.将步骤d所得产物,进行干燥,得到碲化亚铜薄膜。
地址 250101 山东省济南市临港开发区凤鸣路山东建筑大学
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