发明名称 用于显微微影术之光敏硬遮罩
摘要
申请公布号 TWI440069 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW098113284 申请日期 2009.04.22
申请人 布鲁尔科技公司 美国 发明人 徐昊;摩卡杜 瑞米尔 马瑟罗L;谷瑞罗 道格拉斯J
分类号 H01L21/027;G03F1/86;G03F7/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址 美国