发明名称 晶棒表面之调质方法及其晶棒
摘要
申请公布号 TWI439586 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW100147040 申请日期 2011.12.19
申请人 中美矽晶制品股份有限公司 新竹市科学工业园区工业东二路8号 发明人 陈炤彰;郑世隆;刘建亿;陈钰麟;黄国维;郑守智
分类号 C30B33/02 主分类号 C30B33/02
代理机构 代理人 庄志强 台北市大安区敦化南路2段71号18楼
主权项
地址 新竹市科学工业园区工业东二路8号